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  DFL7160
  DFL7160
최대 대응 웍 사이즈 ø300 mm
최대 대응 프레임 2-12
X축
(척 테이블)
절삭 가능범위(mm) 310
최대 공급속도(mm/s) 600
Y축
(척 테이블)
절삭 가능범위(mm) 310
인덱스 스텝(mm) 0.0001
Y축위치결정 정밀도 0.003이내/310
(단일 오차)0.002이내
스케일 분해능(mm) 0.0001
Z축 레이저 포커스 입력범위(mm) -2.000 - 5.000
이동 분해능(mm) 0.00005
반복 정밀도(mm) 0.002
θ축
(척 테이블)
최대 회전각도(deg) 380
(이니셜위치보다 +방향320, -방향60)
레이저
발진기
발진기 형식 반도체 여기 고체 레이저
장비 치수(WxDxH)
(mm)
1,200 x 1,500 x 1,800
장비 무게
(kg)
약1,750 (트랜스 없는 경우)
약1,870 (트랜스 있는 경우)

*본 사양은 개량을 위해, 사전통보 없이 변경될 수 있습니다. 발주시에는 사양 확인하시기 바랍니다.
 
디에이치케이솔루션(주)
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