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  DAG810
DAG810 카탈로그
  DAG810
연삭 가능 웨이퍼 지름 최대ø8" (유니버셜 척 테이블사용시 ø4"-ø8")
기본사양
연삭방식 자재 회전에 의한 인피드방식
스핀들 사용 스핀들 고주파 모터 에어 스핀들
축 개수 1
정격출력(kW) 4.2
회전수 1,000 - 7,000
Z축 스트로크 120(원점부)
Z축 절삭 공급속도 0.0001 - 0.05
Z축 빨리보내기 공급속도 50
Z축 최소 지령 단위 0.1
Z축 최소 분해능 0.1
웨이퍼 척 테이블 척 테이블 형식 포러스 척 테이블
척방식 베큠 척
회전수(min-1)[rpm] 0 - 300
척 테이블 수 1
스파크 아웃
(척 테이블 회전 설정)
0 - 999
Y축 가공 스트로크(mm) 430
Y축 절삭 공급속도(mm/s) 0.001 - 50
Y축 빨리보내기 속도(mm/s) 200
Y축 최소 지령 단위(mm) 0.01
Y축 최소 분해능(mm) 0.01
사용 휠 다이아몬드 휠(mm) ø200
가공 정밀도 웨이퍼내 두께 편차(µm) 1.5이하(전용 척 테이블 사용시)
웨이퍼간 두께 편차(µm) ±3이하
표면 거칠기(µm) Ry0.13(#2000완성 시) / Ry0.15전후(#1400완성 시)
장비 치수(WxDxH)
(mm)
600 x 1,700 x 1,780
장비 무게
(kg)
약1,300

*본 사양은 개량을 위해, 사전통보 없이 변경될 수 있습니다. 발주시에는 사양 확인하시기 바랍니다.
 
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