home>제품소개>polisher,dryetcher> 8000시리즈
 
 
 
 
  DFP8140
DFP8140/8160 카탈로그
DFP8160
DFP8140/8160 카탈로그
  DFP8140
DFP8160
가공 가능 웨이퍼 지름 ø4" - ø200 mm
( ø4" - ø8")
ø200 mm - ø300 mm
( ø8" - ø12")
기본사양
가공방식 웨이퍼 회전에 의한 변칙 인피드방식
스핀들 사용 스핀들 고주파 모터 에어 스핀들
축 개수

1

정격출력(kW) 4.8 7.5
회전수(min-1)[rpm] 1,000 - 4,000 1,000 - 3,000
Z축 스트로크(mm) 100(원점부) 72(원점부)
Z축 절삭 공급속도(mm/s) 0.0001 - 0.08
Z축 빨리보내기 공급속도(mm/s) 50
Z축 최소 지령 단위(µm) 0.1
Z축 최소 분해능(µm) 0.1
웨이퍼 척 테이블 척 테이블 형식 다공성(porous) 척 테이블
척 방식 베큠 척
회전 수(min-1)[rpm] 0 - 300
척 테이블 수 1
척 테이블 세정 물, 에어, 오일스톤 및 브러시 세정
웨이퍼 세정 노즐에 의한 물세정
내장 부하센서 박형 파워센서
스파크 아웃
(척 테이블 회전 설정)
0 - 999
Y축 가공 스트로크 420 510
Y축 최대속도 0.5 - 200
Y축 최소 분해능 0.002
사용 휠 드라이 폴리싱용 휠(mm) ø300 ø450
웨이퍼 반송부, 세정부 카세트 스토리지 수 2
카세트부 플로 세임(Same) 플로 및 오픈 플로
스피너 유닛 2류체 노즐에 의한 물세정 및 건조
버큠 유닛 배기속도(m3/h) 29/36 50/60(Hz)
도달압력(kPa) -90(순환수온 15℃, 공급수 유량 1L/min)
전동기(kW) 1.5
사용 수량(L/min) 공급온도 22℃이상: 3/공급온도 22℃미만: 1
집진 유닛 방식 웻 사이클론(Wet cyclone)방식
배기량(m3/min) 4.0
전동기(kW) 1.0
사용 수량(L/min) 4.0
가공 정밀도 제거량 편차(µm) ±1이하(평균2 µm제거 시)
장비 치수(WxDxH)
(mm)
1,200 x 2,670 x 1,800 1,400 x 3,322 x 1,800
장비 무게
(kg)
약1,900 약2,400

*본 사양은 개량을 위해, 사전통보 없이 변경될 수 있습니다. 발주시에는 사양 확인하시기 바랍니다.
 
디에이치케이솔루션(주)
주소 : 경기도 성남시 분당구 판교로255번길 28 (삼평동, 디에이치케이솔루션빌딩) 대표전화 : 031-639-9000 대표팩스 : 031-639-9035
Copyright(c) 2007 DHKSOLUTION All rights reserved.