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  DFE8040
DFE8040/8060 카탈로그
DFE8060
DFE8040/8060 카탈로그
  DFG8560+DFE8060
가공 가능 웨이퍼 지름 ø8" ø8"및ø300 mm
기본사양
처리방식 고정밀도 슬림방식 플라스마
사용 가스 SF6 / He / N2
웨이퍼 반송부 카세트 스토리지 수 2
카세트부 플로 오픈 플로(수납만 가능)
반송 암 그라인더의 스피너 세정 유닛에서 웨이퍼를 챔버로 로딩하여, 처리 후
웨이퍼를 더미 테이블로 언로딩하는 유닛
더미 테이블 처리한 웨이퍼를 전달하기 위해 설치하는 장소
언로드용 로봇 처리한 웨이퍼를 카세트로 수납하기 위한 유닛
카세트 스테이지 웨이퍼 수납용 카세트 스테이지
사용 카세트 DBG카세트만 사용
유틸리티 유닛 드라이 펌프 챔버 환기용 펌프
배기속도

27m3/h

도달압력 10 Pa abs
*매년 주기로 분해수리(overhaul)를 권장합니다.
로터리 펌프 자재 흡착용 펌프
배기속도 1.9m3/h
도달압력 0.3 Pa abs
*매년주기로 분해수리(overhaul)를 권장합니다.
RF전원 플라스마 생성용 고주파 전원
매스 플로 컨트롤러 공급가스 컨트롤용
각종 밸브류 처리부 제어, 가스 컨트롤용
가스 탐지기 본체, 유틸리티 유닛에서 HF의 누출을 검출.
*반년주기로 교정을 권장합니다.
배기가스 처리장치 HF?SiF4?SOF2등을 제거
칠러(냉각) 유닛 RF전원, 상부전류 냉각용, 하부전류 냉각용의 2대를 사용.
설정 온도범위 +5 ~ +35 ℃
최대 유량 15 L/min 12 L/min
최대 토출압 0.42 MPa
냉각 능력 2.41 kW(20℃설정) 3.5 kW(20℃설정)
사용수   순수
제원 전기 전압 3상 AC 200V ±10%
주파수 50/60 Hz
소비전력 가동시:5.0 kW
대기시:3.4 kW
가동시:7.0 kW
대기시:4.0 kW
*위의 값은 참고값이며, 조건에 따라 다름.
최대 전력 17 kVA 25 kVA
방전용 가스 가스종류 SF6:순도99.99%以上
He:순도99.99%以上
공급압 0.1 Mpa 변동폭0.03 MPa이하
*압력 조정용 레귤레이터 및 가스필터는 고객측에서 준비하시기 바랍니다.
퍼지용 가스 가스종류 N2
공급압 ?범위0.5~0.8 MPa
?변동폭0.03 MPa이하
챔버용
유량 50 L/min이상
웨이퍼 1장당 소비량 6L
(퍼지시간 7 sec, 처리시간 60 sec로 설정한 경우)
드라이 펌프용
유량 1.5 L/min이상
웨이퍼 1장당 소비량 1.5 L
(처리시간 60 sec로 설정한 경우)
공기 공급압력 ?범위0.5~0.8 MPa
?변동폭0.03 MPa以下
유량 400 L/min이상(ANR)이상
용수 RF전원 및 상하부전극을 냉각합니다.
냉각수량
(칠러 유닛)
10~15 L(2대분)*
*순환사양이지만, 필요에 따라 냉각수(순수)를 보충하십시오.
덕트 아래의 3계통 배기가 필요합니다.
(1) 메인 덕트
기능 본체 내부 가스누출 탐지
?장치, 프로세스 이상시에 유해가스의 장치외부 유출을 방지
배기량 4 m3/ 이상
(아래 정압시, 기기 본체 덕트 접속구에서)
정압 -1,200 Pa ~ -130 Pa
(기기 본체 덕트 접속구에서)
(2) 유틸리티 덕트
기능 유틸리티 유닛 내부의 가스누출 검지 및 열배출
배기량 7 m3/ 이상
(아래 정압시, 기기 본체 덕트 접속구에서)
정압 -1,200 Pa ~ -100 Pa (기기 본체 덕트 접속구에서)
(3) 프로세스가스 덕트
기능 가스 처리후의 가스 배기
?배기가스 처리장치를 통과한 기체를 배출합니다. 미사용인 SF6가스를 포함합니다.
배기량 0.6m3/ 이상
정압 -1,200 Pa ~ -45 Pa
(기기 본체 덕트 접속구에서)
장비 치수 본체 1,400 x 2,500 x 1,800
유틸리티 유닛 775 x 942 x 1,525
칠러 유닛
*2대 필요
413 x 610 x 664(1대당) 540 x 743 x 772(1대당)
장비 무게 본체 약870 kg 약1.048 kg
유틸리티 유닛 약230 Kg
(배기가스 처리장치 약 40kg은 미포함)
칠러 유닛
*2대 필요
약90 kg x 2 약130 kg x 2

*본 사양은 개량을 위해, 사전통보 없이 변경될 수 있습니다. 발주시에는 사양 확인하시기 바랍니다.
 
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