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  DFS8910
DFS8910 카탈로그
  DFS8910
연삭 가능 웨이퍼 지름 Max φ8"
스핀들 사용 스핀들 수냉식 에어 스핀들
축개수 1
패키지 사용
웨이퍼 척 테이블 척 테이블 형식 베큠 척
척 테이블 수 1
웨이퍼 반송부, 세정부 카세트 스토리지 수 2
가공 정밀도 웨이퍼내 범퍼높이 편차(µm) 2.0 이하
칩내 범퍼높이 편차(µm) 1.0 이하
범퍼 표면 거칠기
(µm)
Ra 0.02 이하
장비 치수(WxDxH)
(mm)
1,200 x 2,670 x 1,800
장비 무게
(kg)
약1,900

*본 사양은 개량을 위해, 사전통보 없이 변경될 수 있습니다. 발주시에는 사양 확인하시기 바랍니다.
 
디에이치케이솔루션(주)
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