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| home>제품소개>polisher,dryetcher> 8000시리즈 |
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DFS8910
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| 연삭 가능 웨이퍼 지름 |
Max φ8" |
| 스핀들 |
사용 스핀들 |
수냉식 에어 스핀들 |
| 축개수 |
1 |
| 패키지 |
사용 |
| 웨이퍼 척 테이블 |
척 테이블 형식 |
베큠 척 |
| 척 테이블 수 |
1 |
| 웨이퍼 반송부, 세정부 |
카세트 스토리지 수 |
2 |
| 가공 정밀도 |
웨이퍼내 범퍼높이 편차（µm） |
2.0 이하 |
| 칩내 범퍼높이 편차（µm） |
1.0 이하 |
범퍼 표면 거칠기
（µm） |
Ra 0.02 이하 |
장비 치수(WxDxH)
(mm) |
1,200 x 2,670 x 1,800 |
장비 무게
(kg) |
약1,900 |
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*본 사양은 개량을 위해, 사전통보 없이 변경될 수 있습니다. 발주시에는 사양 확인하시기 바랍니다. |
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