home>제품소개>Other Product >오토메틱 웨이퍼 세정장치         DCS141   사양 대응 웍 사이즈 ø8" 최대 대응가능 프레임 사이즈 2-5, 2-6, 2-8 테이블 회전 수(min-1[rpm]) 0 - 3,000 스피너 압력(MPa) 2.0 - 12.0 장비 치수(WxDxH) (mm) 400 x 719 x 1,220 장비 무게(kg) 약 150(해외사용시: 약 170) 특징 DAD300시리즈와 공통인 디자인 콘셉트로 설계되었으며, 오퍼레이션의 간이화, 공간절약화를 실현하고 있습니다.