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| home>제품소개>Other Product >오토메틱 웨이퍼 세정장치 |
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DCS141 |
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| 사양 |
| 대응 웍 사이즈 |
ø8" |
| 최대 대응가능 프레임 사이즈 |
2-5, 2-6, 2-8 |
| 테이블 회전 수(min-1[rpm]) |
0 - 3,000 |
| 스피너 압력(MPa) |
2.0 - 12.0 |
장비 치수(WxDxH)
(mm) |
400 x 719 x 1,220 |
| 장비 무게(kg) |
약 150(해외사용시: 약 170) |
| 특징 |
DAD300시리즈와 공통인 디자인 콘셉트로 설계되었으며,
오퍼레이션의 간이화, 공간절약화를 실현하고 있습니다. |
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