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DFG8540
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DFG8560
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| 연삭 가능 웨이퍼 지름 |
Max ø8"(ø4" - ø8") |
Max ø300(ø8" - ø12") |
| 구조 레이아웃 |
2스핀들, 3척 테이블(로터리 테이블방식) |
| 어플리케이션 |
100µm이하의 웨이퍼 씨닝 |
| 기본사양 |
| 연삭방식 |
웨이퍼 회전에 의한 인피드방식 |
| 스핀들 |
사용 스핀들 |
고주파 모터 에어 스핀들 |
| 축개수 |
2 |
| 정격출력(kW) |
4.2 |
4.8 |
| 회전 수(min-1)[rpm] |
1,000 - 7,000 |
1,000 - 4,000 |
| Z축 스트로크(mm) |
120(원점부) |
Z축 절삭 공급속도
(mm/s) |
0.0001 - 0.08 |
| Z축 빨리 보내기 속도(mm/s) |
50 |
| Z축 최소 지령 단위(µm) |
0.1 |
| Z축 최소 분해능(µm) |
0.1 |
| 패키지 |
측정범위(µm) |
0 - 1,800 |
| 분해능(µm) |
0.1 |
| 반복 정밀도(µm) |
±0.5 |
| 웨이퍼 척 테이블 |
척 테이블 형식 |
포러스 척 테이블 |
| 척 방식 |
베큠 척 |
| 회전 수 |
0 - 300 |
| 척 테이블 수 |
3 |
| 척 테이블 세정 |
물, 에어 및 오일스톤, 브러시 세정 |
스파크 아웃
(척 테이블 회전 설정) |
0 - 999 |
| 사용 휠 |
다이아몬드 휠(mm) |
ø200 |
ø300 |
| 웨이퍼 반송부, 세정부 |
카세트 스토리지 수 |
2 |
| 카세트부 플로 |
세임(Same) 플로 및 오픈 플로 |
| 스피너 유닛 |
세정 및 건조 |
| 버큠 유닛 |
배기속도(m3/h) |
29/36(m3/h) 50/60(Hz) |
| 도달압력(kPa?G) |
-90(순환수온 15℃, 공급수 유량 1L/min) |
| 전동기(kW) |
1.5 |
| 사용 수량(L/min) |
공급온도 22℃ 이상: 3 / 공급온도 22℃ 미만: 1 |
| 가공 정밀도 |
웨이퍼내 두께 편차(µm) |
1.5이하(전용 척 테이블 사용시, ø8"웨이퍼 연삭시) |
| 웨이퍼간 두께 편차(µm) |
±3이하 |
| 표면 거칠기(µm) |
Ry0.13(#2000사용시) / Ry0.15전후(#1400사용시) |
장비 치수(WxDxH)
(mm) |
1,200 x 2,670 x 1,800 |
1,400 x 3,322 x 1,800 |
장비 무게
(kg) |
약3,100 |
약4,000 |
*본 사양은 개량을 위해, 사전통보 없이 변경될 수 있습니다. 발주시에는 사양 확인하시기 바랍니다. |
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