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| home>제품소개>polisher,dryetcher> 8000시리즈 |
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DGP8760
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| 가공가능 웨이퍼 지름 |
Max ø300mm |
| 기본사양 |
| 가공방식 |
Z1, Z2축 |
웨이퍼 회전에 의한 인피드방식 |
| Z3축 |
웨이퍼 회전에 의한 변칙 인피드방식 |
| 스핀들 |
사용 스핀들 |
고주파 모터
에어 스핀들 |
| 축 개수 |
3 |
| 정격출력(kW) |
Z1, Z2축 |
4.8 |
| Z3축 |
7.5 |
| 회전수(min-1)[rpm] |
Z1, Z2축 |
1,000 - 4,000 |
| Z3축 |
1,000 - 3,000 |
Z축 스트로크
(mm) |
Z1, Z2축 |
120(원점부) |
| Z3축 |
50 |
| Z축 절삭 공급속도(mm/s) |
0.0001 - 0.08 |
| Z축 빨리보내기 공급속도(mm/s) |
50 |
| Z축 최소 지령 단위(µm) |
0.1 |
| Z축 최소 분해능(µm) |
0.1 |
| 웨이퍼 척 테이블 |
척 테이블 형식 |
다공성(porous) 척 테이블 |
| 척 방식 |
베큠 척 |
| 회전수(min-1)[rpm] |
0 - 300 |
| 척 테이블 개수 |
4 |
| 척 테이블 세정 |
물, 에어, 오일스톤 및 브러시 세정 |
| 웨이퍼 세정 |
2류체 노즐에 의한 물세정 |
스파크 아웃
(척 테이블 회전 설정) |
0 - 999 |
| 사용 휠 |
다이아몬드 휠(mm) |
Z1, Z2축 |
ø300 |
| 드라이 폴리싱용 휠(mm) |
Z3축 |
ø450 |
| 웨이퍼 반송부, 세정부 |
카세트 스토리지 수 |
2 |
| 카세트부 플로 |
세임(Same) 플로 및 오픈 플로 |
| 스피너 유닛 |
2류체 노즐에 의한 물세정 및 건조 |
| 버큠 유닛 |
배기속도 |
펌프 개별 |
26/34(m3/h) 50/60(Hz) |
| 버큠 유닛 |
20/28(m3/h) 50/60(Hz) (-70 kPa시) |
| 도달압력(kPa) |
-90(순환수온 15℃, 공급수 유량 1L/min) |
| 전동기(kW) |
1.5 |
| 사용 수량(L/min) |
2.0(공급수량이30℃ 이하일 경우)
1.5(공급수량이 25℃ 이하일 경우)
1.0(공급수량이 20℃ 이하일 경우)
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| 가공 정밀도 |
(전용 척 테이블 사용시, ø300 mm웨이퍼 연삭시) |
| 웨이퍼내 두께 편차(µm) |
3.0이하(Z1, Z2축 연삭 만일 경우: 3.0이하) |
| 웨이퍼간 두께 편차(µm) |
±3.0이하(Z1, Z2축 연삭 만일 경우: ±3.0이하) |
| 표면 거칠기(µm) |
Ra0.005이하
Z1, Z2축 연삭 만일 경우
Ry0.13전후(#2000 휠 사용시)/Ry0.15전후(#1400 휠 사용시) |
장비 치수(WxDxH)
(mm) |
1,690 x 3,450 x 1,800 |
장비 무게
(kg) |
약5,100 |
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*본 사양은 개량을 위해, 사전통보 없이 변경될 수 있습니다. 발주시에는 사양 확인하시기 바랍니다. |
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