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  DGP8760
DGP870 카탈로그
  DGP8760
가공가능 웨이퍼 지름 Max ø300mm
기본사양
가공방식 Z1, Z2축 웨이퍼 회전에 의한 인피드방식
Z3축 웨이퍼 회전에 의한 변칙 인피드방식
스핀들 사용 스핀들 고주파 모터
에어 스핀들
축 개수 3
정격출력(kW) Z1, Z2축 4.8
Z3축 7.5
회전수(min-1)[rpm] Z1, Z2축 1,000 - 4,000
Z3축 1,000 - 3,000
Z축 스트로크
(mm)
Z1, Z2축 120(원점부)
Z3축 50
Z축 절삭 공급속도(mm/s) 0.0001 - 0.08
Z축 빨리보내기 공급속도(mm/s) 50
Z축 최소 지령 단위(µm) 0.1
Z축 최소 분해능(µm) 0.1
웨이퍼 척 테이블 척 테이블 형식 다공성(porous) 척 테이블
척 방식 베큠 척
회전수(min-1)[rpm] 0 - 300
척 테이블 개수 4
척 테이블 세정 물, 에어, 오일스톤 및 브러시 세정
웨이퍼 세정 2류체 노즐에 의한 물세정
스파크 아웃
(척 테이블 회전 설정)
0 - 999
사용 휠 다이아몬드 휠(mm) Z1, Z2축 ø300
드라이 폴리싱용 휠(mm) Z3축 ø450
웨이퍼 반송부, 세정부 카세트 스토리지 수 2
카세트부 플로 세임(Same) 플로 및 오픈 플로
스피너 유닛 2류체 노즐에 의한 물세정 및 건조
버큠 유닛 배기속도 펌프 개별 26/34(m3/h) 50/60(Hz)
버큠 유닛 20/28(m3/h) 50/60(Hz) (-70 kPa시)
도달압력(kPa) -90(순환수온 15℃, 공급수 유량 1L/min)
전동기(kW) 1.5
사용 수량(L/min)

2.0(공급수량이30℃ 이하일 경우)
1.5(공급수량이 25℃ 이하일 경우)
1.0(공급수량이 20℃ 이하일 경우)

가공 정밀도 (전용 척 테이블 사용시, ø300 mm웨이퍼 연삭시)
웨이퍼내 두께 편차(µm) 3.0이하(Z1, Z2축 연삭 만일 경우: 3.0이하)
웨이퍼간 두께 편차(µm) ±3.0이하(Z1, Z2축 연삭 만일 경우: ±3.0이하)
표면 거칠기(µm) Ra0.005이하
Z1, Z2축 연삭 만일 경우
Ry0.13전후(#2000 휠 사용시)/Ry0.15전후(#1400 휠 사용시)
장비 치수(WxDxH)
(mm)
1,690 x 3,450 x 1,800
장비 무게
(kg)
약5,100

*본 사양은 개량을 위해, 사전통보 없이 변경될 수 있습니다. 발주시에는 사양 확인하시기 바랍니다.
 
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